技术编号:3399740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及成膜源、成膜装置、成膜方法、有机EL面板的制造方法和有机EL面板。背景技术 在基板上形成固体材料薄膜的成膜装置,一般具有下述结构,在真空或减压状态下的成膜室(成膜仓)内配备收容有成膜材料的成膜源,将基板的被成膜面配置成面对该成膜源的材料排出口。以真空蒸镀装置为例,具有下述结构,将设置在真空仓内的蒸镀源加热,使从该蒸镀源的蒸发口排出的蒸镀材料形成于被配置在同一真空仓内的基板上。在这种成膜装置或成膜源的构成中,由于在每次向成膜源供给成膜材料时,需要破...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。