技术编号：3399889
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于镀覆物质的系统和方法。本发明特别但不限于涉及用于使用旋转磁控管系统向基板上溅镀物质的系统和方法。背景技术 玻璃在广泛的应用范围内是不可替代的，诸如窗玻璃、汽车车窗、显示器、以及电视机或计算机监视器显示管。玻璃具有独特的属性组合其透明，尺寸和化学性质稳定，高抗划伤性、无污染、且对环境有益。虽然如此，玻璃还是可以改善，特别是其光学和热学性质。真空镀覆是使玻璃表面和其它表面适用于特殊要求或期望应用的技术选择。真空镀覆能够在大面积基板上形成超薄、均匀...
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