具有银薄膜的抑菌基材的制造方法技术资料下载

技术编号:3399960

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本发明涉及一种制造方法,特别是涉及一种利用高科技产业使用的溅镀设备来量产制造奈米等级的银薄膜,并可应用在各种基材上形成抑菌效果的制造方法。背景技术 真空溅镀使用于半导体、光电、显示器等产业,其基本功能为可溅镀半导体产业中所需的膜层,如金属以及非金属类的金属氧化物、氮化物,其应用的溅镀厚度介于5,000~10,000(1.0μm)间,作为半导体材料的导电层或绝缘层使用,目前尚无任何技术将此高科技设备应用在奈米银抑菌薄膜生产制造方面。所谓奈米银是将贵金属中...
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