技术编号:3400119
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于工模具表面强化的可沉积纳米多层膜的镀膜装置。背景技术 物理气相沉积作为一种先进的材料表面改性技术被大量地应用于国民经济的各个领域。近二十年来以TiN为主的单层膜在装饰行业得到了广泛地应用。中国制造业的迅猛发展对工具、模具等加工成型工具以及其它机械零部件在硬度、耐磨性等方面提出了越来越高的要求,而单一成分的膜层往往不能达到这些要求。由于多层膜包含两种或两种以上的材料形成的膜层,因此在硬度、耐磨性、抗冲击、耐腐蚀等方面往往优于单一膜层。专利C...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。