技术编号:3400178
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学薄膜,特别是指一种实现。背景技术 为了用电子束蒸发技术实现各种要求的膜系结构,通常要求有各种折射率的膜料,但是,自然界中,能用于光学膜制备的光学膜料是非常有限的,而且,有些膜料属于软膜料,有些膜料防潮等性能很差,这样能供选择用于高质量的膜料则更少,本发明通过使用各种性能较好的高、低两种折射率膜料,用双电子枪共蒸的方式,实现不同折射率的膜料,通过工艺条件的控制,实现不同折射率的大小,而且工艺简单,膜层稳定性好、可靠性好,折射率可控、可根据需要调...
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