技术编号:3400259
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种用于汽相淀积系统的衬底托架,尤其涉及一种与磁锁闩一起使用的可部分用完即弃的衬底托架,所述磁锁闩将所述衬底托架悬挂在物理汽相淀积(PVD)系统或化学汽相淀积(CVD)系统的真空腔中。背景技术 多层精密涂层,如用于小型光学系统的多层精密涂层,一般在PVD或CVD系统中产生。许多这些涂层被涂覆在用薄的平盘形成的衬底上,然后将这些衬底切割成适当的尺寸。从PVD或CVD系统中的源流出的涂料流是相对稳定的;不过,它们具有一种空间分布,所述空间分布在衬底...
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