技术编号:3400261
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种用于汽相淀积系统的磁锁闩,尤其涉及一种软性接合磁锁闩,所述软性接合磁锁闩用于悬挂物理汽相淀积系统(PVD)或化学汽相淀积系统(CVD)的真空腔中的衬底托架。背景技术 从PVD或CVD系统中的源流出的涂料流是相对稳定的;不过,它们具有一种空间分布,所述空间分布在衬底保持静止的情况下会导致淀积的膜具有不均匀的厚度。为了提高均匀度,所述源与所述衬底之间的几何关系必须进行适当的选择。在将所述衬底绕着垂直于要进行涂覆的表面的轴旋转时,尤其是在将多个衬...
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