技术编号:3400543
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例大致关于用于大面积基材处理的等离子制程设备,且更明确而言,是关于用于前述设备的RF电流返回路径。背景技术 面板显示器通常用于主动式数组显示器,例如计算机及电视屏幕、个人数字助理(PDAs)、移动电话及相关类似者。液晶显示器(LCD)为面板显示器的一种,一般包含两个平板(可能为玻璃或塑料),其间夹设一层液晶材料。这些平板的至少一者至少包括一导电薄膜,沉积其上以耦接至一电源供应器。来自电源供应器且供应至导电材料薄膜的电源会改变液晶材料的方向,形成...
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