技术编号:3400591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于薄膜形成的分子供应源,用于加热要形成在固体或物质、例如衬底等的膜形成表面上的材料,由此熔化并蒸发膜形成材料;即产生用于在固体的表面上生长薄膜的蒸发的分子,本发明尤其涉及一种用于薄膜形成的分子供应源,适合于当在固体、例如衬底等上积聚薄膜时,在具有相对大面积的固体的膜形成表面均匀地积聚薄膜。背景技术 当生产半导体器件和/或显示装置时,用于形成薄膜的工艺是非常重要的技术,用于在其膜形成表面上形成各种类型的薄膜。如下取得或形成这种类型的薄膜通过在...
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