技术编号:3400997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在衬底上制造薄膜的装置的基座。背景技术 迄今为止,显示器件通常使用阴极射线管(CRT)。目前,正努力研究和发展各种类型的平板显示器作为CRT的替代品,诸如液晶显示(LCD)器件、等离子显示屏(PDP)、场发射显示器和电致发光显示器(ELD)。这些平板显示器在至少一个透明衬底处具有一光发射层或一光偏振层。近来,一主动式矩阵类型平板显示器由于其显示运动图像的高清晰度和高能力已被广泛使用,在所述显示器中以一矩阵方式排列复数个薄膜晶体管(TFT)...
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