技术编号：3401095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种掩模成膜方法及掩模，特别涉及一种适合于根据蒸镀的成膜的成膜方法及掩模。背景技术 在用于TV用显示器等的大型的全彩色有机电致发光(EL)面板的制造中，需要非常精密的蒸镀掩模，并且需要将其蒸镀掩模和被蒸镀基板非常精密地对位。但是，一直以来进行的全彩色有机EL面板的作成中，使用通过极薄的电铸制造了的金属掩模，但是金属掩模非常薄而容易产生弯曲，因此施加张力与掩模保持框接合而被使用，但是，由于根据在施加张力时所产生的塑性变形的掩模的尺寸甚大，因此很难制...
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