技术编号：3401139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是与镀膜设备有关，特别是一种内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机。背景技术就目前的真空镀膜技术而言，对于基材表面及镀膜腔室内部洁净度和真空度的要求极高，些微的悬浮物或污染物都会导致镀材成品表面具有异常的透光或异质颗粒，而影响成品的品质及合格率。因此，通常在将基材放入镀膜设备进行镀膜之前，都会先将基材放置于一托盘上，然后在一除尘及除静电的清洁机器内，先对基材进行除尘与除静电的处理。之后，再将托盘取出移转至镀膜设备中来进行镀膜的动作。然而这样的生产方式，...
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