技术编号:3401225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本专利申请涉及1999年5月21日递交的、其系列号为NO.60/135358的美国临时专利申请,并要求该申请的优先权,该专利作为本申请的参考。本发明涉及一种用于输送气体的气体输送定量分配(metering)管。本发明特别是涉及一种轴向对齐的套叠式或者同轴气体输送定量分配管,该定量分配管可以基本上实现气体的均匀分布。气体输送在许多工业中起重要的作用。例如,在半导体处理或者制造领域,气体输送起着至关重要的作用。一种类型的半导体处理方法是化学蒸汽沉淀法。当利用热...
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