技术编号：3402856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及用于修整抛光垫的垫修整器。抛光垫可以配置成用于抛光各种材料，包括例如塑料、玻璃和半导体晶片。更特别地，本发明涉及一种带有起伏表面的垫修整器。背景技术 在制造期间，用于半导体制造的半导体晶片通常经历很多的处理步骤，包括沉积、形成花纹和蚀刻步骤。在生产工程研究国际机构的年鉴(1990/2/39卷)pp.621-635中发表的“硅的研磨加工”中，Tonshoff等报告了用于半导体晶片的这些制造步骤的细节。在每个制造步骤中，经常需要或希望改变或精制...
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