技术编号：3403159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请根据35U.S.C.119(e)要求享有2004年5月6日提交的在先美国临时专利申请No.60/568,592的优先权，其全文作为参考在此引入。 背景技术 本发明涉及溅射靶及用于溅射的组分。更特别地，本发明涉及形成溅射靶的方法以及由本发明方法得到的溅射靶。存在多种由金属制造溅射靶的方法，其整体上包括选取大体为坯块状的粉末冶金制品或铸锭得到的制品，然后将坯块加工成希望的溅射靶形状，其大多情况为平板状和圆形。通常用来将坯块加工成希望形状的手段是各种锻造方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。