技术编号：3403413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造结核和颗粒的发生少的金属玻璃膜的溅射靶及其制造方法。背景技术 非晶质金属玻璃薄膜可以用于氢分离膜和磁性膜等。但是金属玻璃是3元系以上的多元系，根据以往的靶的制造方法，存在熔解、铸造时的偏析，或凝固时的结晶成长等问题。这些偏析和成长的结晶成为引起结核和颗粒发生的原因，导致溅射膜的缺陷。另外，还对于溅射特性带来不良的影响。近年来，在燃料电池等领域，要求氢的高效分离。一般，根据制造方法的不同，从化石燃料或水制造的氢含有各种各样的杂质，因此为...
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