技术编号:3403415
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及物理蒸气沉积系统,尤其涉及一种物理蒸气沉积系统,用于发射从蒸发源蒸发出来的原子中产生的微粒,并且依靠超音速喷射将这些微粒沉积到基片上以便于形成膜。背景技术 近年来,涂敷技术重要性快速增长。已经开发出了各种各样的涂敷方法。然而,目前还没有任何涂敷方法能够形成几十到几百微米厚的高密度涂敷膜。文献(A.Yumoto,F.Hiroki,I.Shioda,N.Niwa,Surface and CoatingsTechnology,169-170,2003,...
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