技术编号:3403489
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蒸发源装置,其是将通过加热而熔融之后气化(蒸气化)的物质成膜的真空蒸镀装置的蒸发源装置,具体是涉及具有一个以上的蒸气喷射用开口的所谓密封型蒸发源装置,所述开口具有能够通过该蒸发源装置坩埚的内外压力差来维持蒸气喷射现象的大小。背景技术 通过图17、图18说明现有的真空蒸镀装置和密封型蒸发源装置(以下简称为蒸发源装置)(例如参照专利文献1)。图17表示真空蒸镀装置的概要,图18表示蒸发源装置的结构。图17、图18分别是剖面图。另外对于图17、图1...
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