技术编号:3403740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及沉积系统及其控制方法,更具体地说,涉及利用噪声消除器消除在测量沉积率的过程中产生的噪声的影响以精确地控制沉积率的沉积系统,以及控制该沉积系统的方法。背景技术 沉积系统包括沉积设备、沉积率传感器和能量供给单元。沉积设备包括蒸发器和喷射器。沉积率传感器测量沉积设备的沉积率。能量供给单元根据沉积率传感器测量的沉积设备的沉积率调整供给沉积设备的能量。利用频率与重量成反比的水晶测量沉积率的水晶传感器用作沉积率传感器。由沉积率传感器测量的沉积率包括由于电波造...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。