技术编号:3403758
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种蒸镀用坩锅(crucible for thermalevaporation),特别是一种供装设于处理室上方可往下蒸镀用的坩锅,以及具有该蒸镀用坩锅的蒸镀设备及蒸镀方法。蒸镀(evaporation)法属于物理气相沉积(physical vapordeposition)的一镀膜应用技术,其是将一用于沉积薄膜的材料放置于一坩锅(crucible)内施加热能,使该材料分解为气态的原子、原子集合体或分子,以凝聚于待镀膜基板表面而形成薄膜,可广泛应...
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