技术编号:3403841
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜制备的,特别是涉及。背景技术 在电子工业、信息产业的印刷线路大规模制备和集成电路的微型化方面,薄膜材料独具优势。事实上,现代电子器件都是以薄膜为基础的,集成的电子器件更是如此。这两方面的因素促使薄膜技术飞速发展,现已成为一个国家现代工业水平的重要标志之一。今天,一种新材料的研究和开发,往往起始于这种新材料的薄膜合成与制备,薄膜技术已成为新材料研制不可或缺的重要手段之一。为了避免空气和浮尘的干扰和污染,先进薄膜制备大都是在真空环境下进行的。物理...
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