技术编号:3403910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置,尤其涉及一种包括激光器、真空室、真空泵和真空测量单元、针阀和放气阀、样品台、运动控制装置、加热装置和辉光放电装置的表面改性装置。属于激光表面加工装置。背景技术 材料的摩擦学性能如润滑、摩擦、磨损、界面粘着等,主要取决于其表面性质。在先进电子制造、航空、汽车等行业中,材料的表面改性是其中的一项重要研究内容,利用基于激光诱发原位热化学反应的表面改性技术可以在材料表面获得一种可控的表面材料结构和几何结构,以实...
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