技术编号:3404177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学镀膜的电子束蒸发系统,特别是一种用于光学镀膜的电子束蒸发系统的计算机控制的电子束偏转设备。背景技术 由于现代镀膜生产的需要,许多仪表和设备都朝着智能化方向发展。通过计算机程序精确控制镀膜过程中镀膜设备的运转和镀膜参数的改变,成为镀膜生产的迫切需要。电子束蒸发在整个光学镀膜过程中是个很重要的环节,它能否在整个镀膜过程中提供稳定的靶材蒸发分布,将直接影响镀膜产品的光谱指标和成品率。电子束蒸发镀膜的过程是高能量的电子束在偏转线圈产生的均匀磁场中做圆...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。