技术编号:3404735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种复合薄膜及其制作工艺,尤其是一种超硬纳米复合薄膜及其制作工艺,属于材料的陶瓷薄膜领域。背景技术现有技术中金属材料工模具的气相沉积表面镀覆强化层通常采用氮化物、碳化物或者碳氮化物单层膜,例如TiN、TiC、Ti(CN)等。其中TiN薄膜因具有良好的抗磨减摩性能,在工业生产中得到广泛的应用;但其存在硬度仍不够高等不足之处,在一些应用领域尚不能满足工模具工况高要求的需要。寻求具有超高硬度和超高模量的纳米复合薄膜材料组成体系及其微结构特征参数成为...
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