技术编号:3404848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种如权利要求1的前序部分所述的作为氧化的电弧PVD功能层(32)沉积在工件(30)上的硬材料层,以及如权利要求 21的前序部分所述的一种用硬材料层对工件涂层的方法。背景技术通过馈给电脉沖运行的也称为电火花阴极的电弧蒸发源长期以来 为所属所公知。用电弧蒸发源可以经济地达到高的蒸发速度 并且从而在涂层时达到高的沉积速度。此外, 一个这样的源的结构在 技术上实现起来相对简单。所述源在典型地约IOOA或以上的电流和几 伏至几十伏的电压条件下工作,这可以...
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