技术编号:3404882
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于形成规定材料的层的,特别是涉 及使规定材料的原料气化,形成规定材料层的。背景技术使规定材料的原料气化,形成规定材料层的方法在半导体器件或平板 显示器装置、其他电子装置的制造中广泛使用。作为这样的电子装置的一个例子,以下以有机EL显示装置为例进行说明。亮度充分明亮并且寿命 为数万小时以上的有机EL显示装置使用自发光型元件即有机EL元件, 因为背光灯等外围零件少,所以能很薄地构成,作为平面显示装置是理想 的。在构成这样的有机EL显示装置的有机EL...
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