技术编号：3404912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。上述设置中的问题是，源部件酉己接头(source fitting)——其穿 过维护窗体也就是后法兰而被引入真空腔内__的连接是一个困难的任 务，其不得不借助碍视连接(blind connection )来进行，因为使用者实际 上不能进行可视的连接。此外，反应器的结构使得要被引入真空腔的配接 头在重复加热循环期间承受应力。压腔。在该真空腔中，固体源部件位于反应区上方和下方，或者，可选地， 在两行排的侧部。用于固体和液体/气体源的配接头位于后法兰内，且真空 腔...
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