技术编号:34050351
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及led芯片技术领域,具体涉及一种镀锅载台的弹簧的整形装置。背景技术.在led芯片领域,经常采用真空镀膜工艺,具体是将晶圆片安装在载具上,再将载具放置到蒸镀机的镀锅载台上;载具与镀锅载台是通过多个弹簧固定的,镀锅载台将带动载具旋转,弹簧长期受拉力以及弯矩,容易变形失效;若想更换弹簧将给真空镀膜工序带来较大麻烦,降低真空镀膜工序的效率。实用新型内容.本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种镀锅载台的弹簧的整形装置,其实现使变形失效的镀锅载台的弹簧恢复正常。.为了解决上述技术问...
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