技术编号:3405186
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种初始润湿辅助材料,所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体的蒸发器表面上,所述蒸发器体用于在PVD敷金 属装置中运行以蒸发铝。本发明还涉及一种可电加热的陶瓷蒸发器体, 所述蒸发器体具有施加到蒸发器体的蒸发器表面上的根据本发明的初 始润湿辅助材料。本发明还涉及一种用于制备可电加热的陶瓷蒸发器体 的方法,其中在加热所述蒸发器体之前将根据本发明的初始润湿辅助材 料施加到蒸发器体的蒸发器表面上。背景技术根据PVD (物理气相沉积)技术,用优选为铝...
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