技术编号：3405504
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域通常涉及用于在衬底上制造薄膜的装置和方法。 更具体地，本发明的领域涉及用于在原位(,'"-Ww)形成高温超导 (HTS)膜的装置和方法。背景技术自从19世纪80年代中期发现HTS材料的钙钛矿族后，在沉 积高质量的HTS膜的能力上已经进行了大幅度的跨越。由HTS材 料形成的薄膜非常有望用于各种超导电子仪器的应用，所述超导电 子仪器例如包括探测器、数字电路和无源微波装置(如HTS基滤波 器)。这些年来，多种技术已经被发展为用于HTS氧化物材料薄膜 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。