技术编号：3405619
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于盘状衬底除气的装置 本发明涉及一种根据权利要求1的用于盘状衬底除气的装置以及一种根据权利要求13的用于盘状衬底除气的方法。就当代真空处理设备而言，在这种全自动的真空处理系统中对圆形 的扁平衬底或工件(也称为晶圓)进行表面处理，例如涂层、蚀刻、清 洁、热处理等。为了使得这种过程自动化和为了能够在不同的设备区域 中进行多阶段的过程，在此使用自动的输送系统——种操作机器人。特 别地，在这种过程中，对半导体晶圆的处理要求很高的处理质量，特别 是例如高纯度、高精...
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