技术编号:3405718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蚀刻液的处理方法与系统一种涉及蚀刻液的处理方法,尤其涉及从含碘化钾的金蚀刻液中回收 金与回收碘的处理方法。背景技术半导体及光电产业制造工艺中均利用蚀刻法(etching沐进行蚀刻制造 工艺,含有碘化钾(KI, potassium iodide)的溶液为常见的金蚀刻液(gold etchant),当金蚀刻液中的碘化钾浓度或蚀刻能力不符合制造工艺需求时, 此蚀刻液会因无法再度活化使用而被废弃,即为废弃的蚀刻液。因此废弃 的蚀刻液中含有浓度不一的金离子(gold...
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