技术编号:34065683
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.一种层状结构,特别是但不限于光电发射器或光电探测器设备。背景技术.层状的半导体结构通常由在堆叠中外延生长的多个层形成。每个层可以是与先前的层不同的材料或组成,这引入小的晶格失配并因此引入应变。该应变在层堆叠上方累积或增加,并可能导致结构的弯曲和/或翘曲。这种弯曲和/或翘曲可能为后续层生长呈现不均匀的表面;可能导致后续层以变化的厚度生长;由于材料沉积和热传递不均匀,可能导致后续层中的不均匀的性质;并且可能增加器件制作处理的复杂性和成本。发明内容.本发明试图解决这些缺点中的一些或全部。.本...
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