技术编号:3406654
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空蒸镀设备,具体地是涉及用于真空镀铝设备的电极装置。 背景技术真空镀铝技术是采用在容器里的金属铝在真空条件下加热呈熔融状态 时,其飞散的原子凝结在冷却的非导体表面,形成多晶薄膜的工艺方法。我 国真空镀铝的研制工作起步于七十年代,当时的镀铝产品是镀铝纸,主要用 于香烟的内衬包装。随着真空镀铝技术的发展。镀铝基材已由单一的纸基发展到聚酯(P E T )、聚丙烯(B f i P P )、聚乙烯(P E ),聚氯乙烯(P VC)、纤维布料等多种材料,镀...
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