技术编号:3406847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的具有隔热功能的等离子体谐振腔 波导装置,是对现有等离子体谐振腔波导装置的改进。 背景技术PCVD即等离子化学气相沉积法是光纤预制棒加工的主要工艺之一,PCVD工艺的加 工机理是通过高频微波对低压混合反应物气体的直接作用,使其迅速发生物理化学反应而 形成纯二氧化硅或掺杂的二氧化硅,在石英管内壁直接以玻璃态沉积。PCVD工艺具有灵 活精密的特点,而等离子体谐振腔微波系统是PCVD加工设备的核心部分。等离了体谐振 腔...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。