技术编号:3406865
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学镀膜实时监控领域,特别是涉及一种对利用光学镀膜蒸 镀工件表面膜厚的监测控制系统及自动控制方法。技术背景现有的膜厚计通常是模拟式的,没有计算机处理功能,稳定性和准确度很 差,不适合连续多层镀膜。不能满'足高精度镀膜的要求。另外现有的膜厚计光 轴调试非常复杂,要花费用户或调试人员大量的时间。此外,现有的膜厚计 还具有下列缺陷1、光源发射部分通常采用的是卤钨灯泡,或是在卤钨灯泡 后侧置一平面或弧面反射镜以便增强发射光线的亮度。由于卤转灯本身发出 的...
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