技术编号:3407463
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请是申请号为99106358.9,申请日为1999年4月29日的申请“薄膜电阻的形成”的分案申请。本发明是针对薄层电阻的形成,较好的是用于印刷电路的薄层电阻,这种薄层能够埋入印刷线路板。具体而言,本发明是针对由薄层电阻材料来形成薄层电阻,所述薄层电阻材料可以通过燃烧化学气相淀积来进行淀积。燃烧化学气相淀积(combustion chemical vapor deposition,″CCVD″)是一种近年来发明的CVD技术,它允许在开放气氛下淀积薄膜。与...
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