技术编号:3407520
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备,特别是一种太阳能电 池链式湿法刻蚀设备的排风管口盖板。背景技术现有太阳能电池链式湿法刻蚀设备如RENA Inoxside机台的排风管口盖板的形 状设计为平面形。在生产过程中,由于酸气的挥发,较长时间后便会在盖板处聚集众多 液滴。当液体聚集到一定量后,由于自身重力,将低落到正常生产时经过的硅片扩散面 上,从而造成扩散面异常,形成不良片。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是避免排风管口盖板上的液滴滴落在硅片扩 散...
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