技术编号:34077484
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及基板固定装置,其固定被离子束照射的基板。背景技术.作为这种基板固定装置,如专利文献所示,有一种基板固定装置,其具有固定被离子束照射的基板的固定架、和通过使该固定架旋转来改变固定于固定架的基板相对于离子束的倾斜的驱动机构。.该驱动机构构成为,将所谓的直接驱动马达(以下,也称为dd马达)与固定架直接连结,通过控制该dd马达,能够精密地控制基板的倾斜。.然而,若为了使固定架旋转而输出高转矩,则会导致dd马达的大型化、高成本化。然而,若为了实现马达的小型化而使用减速器,则由于齿轮的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。