技术编号:3408413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空抽气系统,更具体地说,涉及一种用于真空镀膜机的高 洁净真空抽气系统。背景技术真空镀膜机的真空镀膜室内在高真空环境时所残留气体主要是水蒸汽或者其它 高沸点蒸汽,若采用油扩散泵作为主泵,则残留气体中还含有油蒸汽,抽气系统抽除这些残 留气体的能力低、需时间长,而且镀膜过程中,这些残留气体还会污染工件,从而使产品的 产量和质量受影响。要提高抽气效率,首要的必须提高排除水蒸汽效率,目前人们通常采用 低温水汽捕集器解决这难题。水汽的冷凝温度与水汽...
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