技术编号:3410136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光电子信息,特别涉及一种用于蓝宝石衬底晶片的晶片研磨装置。背景技术蓝宝石晶片用作衬底材料的优越性蓝宝石是一种氧化铝单晶材料,具有非常高的硬度,是目前LED行业的普遍采用的衬底材料,用作氮化镓等外延生长的基质以生产蓝光等发光二极管。衬底加工是LED产业链中的一个主要难题,不仅需要达到非常高的精度, 特别是用于制作图形化晶片的衬底,要求平整度(TTV)小于5微米,边缘环小于30微米,同时,也要达到较高的加工效率和一定的经济性。蓝宝石由于其硬度...
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