用于稳定前驱物供应的气泡供应系统的制作方法技术资料下载

技术编号:3410691

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本发明的具体实例大体上关于一种使液体前驱物汽化的装置和方法。特定而言, 将该用于液体前驱物汽化的装置及方法引向一种起泡器喷嘴结构及使用方法。背景技术半导体加工的新进展需要改良液体前驱物至加工室的传递以用于包括材料沉积工艺的多种工艺中。较佳施用蒸气形式的液体前驱物以有效使用该前驱物且有效控制所沉积的材料形成于加工室中的基板上。存在有五种向加工室供应液体前驱物蒸气的公认技术。一种方法以由液体质量流量控制器(liquid mass flow controller...
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