技术编号:3410900
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械系统,例如微机电系统(MEMS)。 背景技术一种类型的MEMS为空间光调制器(SLM)装置,它通过采用静电扭矩使得各块微镜板围绕着扭转铰链(torsion hinge)倾斜来使得入射光沿着由微镜板的取向决定的方向偏转来进行操作。在数字模式操作中,每块微镜板用作可以通过选择地旋转单个镜子来接通或断开的像素。这些镜子可以机械停止在特定的着陆位置以确保精确的偏转角度。功能微镜阵列需要足够的静电扭矩和机械恢复扭矩以在机械停止时克服接触静态扭矩或“静摩...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。