通过感应方法生产多晶硅锭的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3411129

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本发明涉及通过感应方法生产多晶硅锭的装置和其能够用在从多晶硅制造太阳能电池中。背景技术从太阳光线产生电能的太阳能电池是由晶体硅构成的,单晶硅和多晶硅,即含有大晶体的多结晶硅,两者均可。对于多晶硅的兴趣一直在增长,因为多晶硅太阳能电池的效率接近于单晶硅太阳能电池的效率,而多晶硅生长设备的生产率是单晶硅生长设备的生产率的许多倍。也就是说,多晶硅的生长比单晶硅生长要更容易。本领域现有一种通过感应方法生产多晶硅锭的装置,该装置包括腔室,其安装在由感应器包围的、具有...
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