技术编号:34117056
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种振环型mems陀螺仪及其制作方法技术领域.本发明涉及惯性技术和微机电系统技术领域,尤其涉及一种振环型mems陀螺仪及其制作方法。背景技术.陀螺仪作为一个惯性传感器,其基于科里奥利原理,通过振动元件测量角度或角速度的运动,被称为科里奥利振动陀螺仪。与以往的机械转子陀螺仪相比,它减少了对旋转部件的依赖,简化了结构形状。与mems技术相结合,还具有高数量、低成本、小尺寸、轻质量、低功耗的优点,是陀螺仪小型化的理想选择。另外,mems环形陀螺仪具有对称结构、较高的机械灵敏度、更好的抗冲击性和较低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。