技术编号:3411887
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种单体沉积设备和单体沉积设备的单体排出方法。更具体地说,本发明涉及一种用于将残余气体有效地排到在其上沉积单体的主腔室和接收单体的单体腔室的外部的单体沉积设备、以及该单体沉积设备的单体排放方法。背景技术有机发光二极管(OLED)显示装置是表征为其本身发光的下一代显示装置,并且就视角、对比度、反应速率和功耗来说都优于液晶显示装置(IXD)。OLED显示装置包括以矩阵方式连接在扫描线和数据线之间的0LED,以构成像素。OLED包括阳极电极、阴极电极以...
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