用于形成光伏器件的背反射层的工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:3412260

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本发明大体而言涉及薄膜光伏(PV)器件,且更具体地说涉及一种用于形成薄膜 PV器件的具有高织构和高反射率的背反射层的改善型工艺。更特定来说,本发明提供一种 用于形成一改善型背反射层的工艺,并考虑到对该背反射层织构与反射率的更好控制。背景技术近些年来,薄膜PV器件已经得到了深入的研究和发展,其可以通过在低成本基板 (诸如,玻璃、不锈钢等)上形成薄膜PV半导体材料(诸如,薄膜硅基非晶硅(a-Si))来生产。图1图示现有技术中已知的制作在金属基板12上的a-Si...
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