技术编号:3412487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造。更具体地讲,本发明涉及一种用于显示面板的金属层、金属布线的制造方法、一种薄膜晶体管阵列面板及其制造方法。背景技术目前,诸如液晶显示器或有机电致发光(EL)显示装置之类的显示器利用薄膜晶体管(TFT)阵列来驱动它们的像素,产生显示图像。薄膜晶体管阵列面板典型地包括扫描信号线或栅极线,传输扫描信号;图像信号线或数据线,传输图像信号;薄膜晶体管,连接到栅极线和数据线;像素电极,连接到所述薄膜晶体管。薄膜晶体管包括栅电极,栅电极是栅极布线的一...
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