技术编号:3412664
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学元件抛光装置,尤其是涉及一种局部压力可控的大口径平面光学元件抛光装置。背景技术现代科学技术的不断发展对超精密表面的需求越来越多,所谓高精度表面通常是指精度为0. 3 0. 03 μ m的表面,与之相应的加工技术就称为高精度表面加工技术。目前, 许多大型系统需要大量的大口径高精度平面光学元件就需要此类技术进行加工。在大口径高精度平面光学元件的加工中,抛光是一种非常重要的技术,但目前它还存在着一些问题, 例如对操作者的经验依赖太强,加工效率不...
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