技术编号:3413142
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适合形成透明性、阻气性等诸特性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。更具体地,涉及用于形成这些诸特性优异,特别是适合作为液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池模块等的阻气材的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。背景技术液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等机器通常不耐湿,由于吸湿使其特性快速劣化,因此必须装备具有高防湿性、即具有防止氧或水蒸气等透过或侵入的阻气性的部件。例如,在太阳能电池的例子中,在与太阳能电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。